电子气体刻蚀剂——三氟化氮

　　湖北沙隆达天门农化有限责任公司是一个生产化工产品的专业生产厂家，公司以人为本，科学管理，技术力量雄厚，拥有先进的生产装置和检测设备。公司于2002年9月通过了ISO 9001：2000标准国际质量管理体系认证。企业有良好的信誉，其信用等级为AAA，2002年被湖北省政府和天门市政府分别评为“重合同守信用企业”和 “纳税大户”等称号。2003年被湖北省科技厅授予“省级高新技术企业”称号。

 

　　随着半导体器件的发展,精度要求越来越高,常规的湿法腐蚀，已不能满足0.18-0.25微米的深亚微米集成电路高精度细线刻蚀的要求，三氟化氮用于集成电路高精度干刻蚀，将成为集成电路制造的技术手段的发展方向。由于三氟化氮以放电（离子反应）形式腐蚀硅，其副产物是易挥发性物质，在微电子产品表面不产生沉积物，在电子和光电子产业中正在迅速替代C2F6等碳氟化合物等离子刻蚀。三氟化氮成为微电子工业技术创新必不可少的关键原料之一得到飞速发展。另外三氟化氮可作为氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源，在H2-O2与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，在化学激光器中HF-OF激光器是最有前途的激光器。现在国内厂家产品的纯度最高只能达到99.95％，而我公司产品的纯度可达99.99％，  产品品质已得到了日本昭和电工、东芝公司、松下电器等客户的认可，今年上半年已实现销售收入已达到320万元，出口创汇38万美元，利润总额为61.6万元。

 

　　2003年获得科技部科技型中小企业技术创新基金的贷款贴息资助后（资助金额50万元），无形之中增加了企业的知名度，增加了企业的无形资产，增加了企业发展高新技术产品方面的信心与力量，对企业的发展起着深远、积极的作用；本项目立项后，对促进该项目的发展起到了比较关键的作用，在一定程度上缓解了资金使用的困难，加快了项目的开发进度，使得项目在电解装置的放大，纯化精馏的改进，充装设备的改善等关键工序有了很大的进展。

 

　　创新基金激发了整个公司的创新热情，对公司起到了四两拨千斤的作用，增强了我们的核心竞争力，我们有信心再通过几年的努力与发展，我公司能由原来单纯的化学农药生产转型为一家面对国际国内两个市场，在国内乃至世界在特种气体行业有着举足轻重的地位的高新技术企业。